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MEMS et capteurs

Quel est l’ordre de grandeur le plus approprié des structures mobiles réalisées en MEMS ?

  1. AQuelques mètres
  2. BDe quelques micromètres à quelques millimètres
  3. CQuelques picomètres
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Réponse : B. De quelques micromètres à quelques millimètres

Les MEMS sont une technologie qui réalise, avec des circuits électroniques, des structures mécaniques (ressorts, masses, membranes, miroirs, etc.) de l’ordre du micromètre au millimètre ; par exemple, une puce d’accéléromètre mesure 1 à 2 mm de côté et l’entrefer de la partie mobile quelques µm. À cette échelle, les forces de surface (électrostatiques, tension superficielle) deviennent relativement fortes par rapport au poids, ce qui impose une conception différente de la mécanique classique. Les structures mécaniques encore plus petites, à l’échelle du nanomètre, sont appelées NEMS.

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