MEMS와 센서

가스의 흐름에 의해 히터의 열이 운반되는 것을 이용하여 유량을 측정하는 MEMS 센서는?

  1. A열식 플로 센서
  2. B홀 소자
  3. CDMD
정답과 해설 보기

정답: A. 열식 플로 센서

열식 플로 센서는 두께 1 µm 정도의 단열된 얇은 막 위에 히터와 그 상류·하류의 온도 센서를 배치합니다. 가스가 흐르면 상류 쪽은 식고 하류 쪽은 따뜻해지므로, 그 온도 차로부터 유량과 흐름의 방향을 구합니다. 막이 얇고 열용량이 작아 응답이 빠르고 저소비 전력입니다. 엔진의 흡기량(에어 플로 미터), 가스 미터, 인공호흡기 등 의료기기에 사용됩니다.

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