Quel est le principal objectif du placement de motifs factices, sans fonction électrique, dans les zones libres du layout ?

Réponse : B. Uniformiser la densité des motifs pour limiter la variabilité du résultat du CMP et de la gravure

Si la densité des motifs varie fortement d'un endroit à l'autre, la quantité de polissage CMP et la vitesse de gravure varient, et épaisseurs et dimensions deviennent non uniformes. Placer des motifs factices (dummy fill) dans les zones libres égalise la densité et limite ces variations. Les règles de dessin fixent des limites haute et basse de densité pour chaque couche. Les motifs factices ayant l'effet secondaire d'augmenter la capacité entre interconnexions, on évite d'en placer près des interconnexions critiques.