LSI設計フロー・EDA

レイアウトの空いた場所に、回路として機能しないダミーパターンを配置する主な目的はどれか。

  1. Aチップを装飾するため
  2. Bパターンの密度を均一にして、CMPやエッチングの仕上がりのばらつきを抑えるため
  3. C配線間の容量を増やすため
答えと解説を見る

正解：B. パターンの密度を均一にして、CMPやエッチングの仕上がりのばらつきを抑えるため

パターンの密度が場所によって大きく違うと、CMPでの研磨量やエッチングの速度がばらつき、膜厚や寸法が不均一になります。空いた場所にダミーパターン(ダミーフィル)を配置して密度をそろえることで、これらのばらつきを抑えます。

この分野を解く 分野ページへ

LSI設計フロー・EDAのほかの問題

  1. ダブルパターニングを前提としたレイアウトで、設計ツールが行うパターンの割り振りとして正しいものはどれか。
  2. ネットリストの説明として正しいものはどれか。
  3. 論理合成や静的タイミング解析で、クロック周期や入出力の遅延などのタイミングの条件を記述したものを何と呼ぶか。
  4. マスク製作のために製造側に渡すレイアウトデータの代表的な形式はどれか。
  5. 配置配線の最初に、大きな回路ブロックや入出力端子、電源配線などのおおまかな配置を決める工程はどれか。