Test und Prüfung
An welche Stelle des Chips setzen beim Wafertest die Nadeln der Probe Card auf?
- AAuf das Gate eines Transistors
- BAuf die Elektrodenpads des Chips
- CNur auf die Mitte der Waferrückseite
Antwort und Erläuterung anzeigen
Antwort: B. Auf die Elektrodenpads des Chips
Beim Wafertest werden viele Nadeln der Probe Card auf die Elektrodenpads gesetzt, die z. B. am Rand der einzelnen Chips angeordnet sind, und die Antwort wird gemessen, während der Tester Versorgung und Signale zuführt. Pads sind Elektroden, die auch für späteres Wire Bonding und Bump-Verbindungen dienen, und haben Abmessungen von einigen zehn µm im Quadrat. Damit Nadelabdrücke die Verbindung nicht behindern, werden auch Größe und Lage der Abdrücke geprüft. Transistoren liegen unter den Verdrahtungslagen und sind nicht direkt kontaktierbar.