Wie heißen die speziellen Strukturen, die zwischen den Chips auf dem Wafer (Scribe Lines) u. Ä. angeordnet sind und mit denen Eigenschaften von Transistoren, Widerständen usw. gemessen werden, um den Prozess zu bewerten?

Antwort: C. TEG (Test Element Group)

Eine TEG ist eine Gruppe einfacher Strukturen zur Bewertung der Prozessqualität, etwa Transistoren, Widerstände, Kapazitäten und Leitbahnketten. Da Produktschaltungen komplex sind und sich Eigenschaften einzelner Bauelemente nicht direkt messen lassen, werden mit TEGs die Eigenschaften repräsentativer Bauelemente gemessen. TEGs in den Scribe Lines werden beim Dicing abgetrennt und benötigen daher keine Produktfläche. In der Entwicklungsphase werden auch eigene TEG-Wafer hergestellt.