MEMS und Sensoren

Welches Verfahren wird breit zur Beurteilung der Bias-Stabilität (langsame Schwankung des Ausgangs) von MEMS-Gyroskopen verwendet?

  1. AAnalyse der Allan-Varianz (Allan-Abweichung)
  2. BC-V-Messung
  3. CVierspitzenmethode
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: A. Analyse der Allan-Varianz (Allan-Abweichung)

Die Allan-Varianz ist ein Verfahren, bei dem der im Ruhezustand über mehrere Stunden aufgezeichnete Ausgang in Abschnitte verschiedener Mittelungszeiten τ unterteilt und die Streuung der Differenzen der Mittelwerte benachbarter Abschnitte untersucht wird. Aus den Steigungen im doppeltlogarithmischen Diagramm lassen sich Komponenten wie das bei kurzen Zeiten dominierende Zufallsrauschen (Winkel-Random-Walk, Steigung −1/2) und die am Boden erscheinende Bias-Instabilität (°/h) getrennt bewerten. Sie ist die Standardmethode zum Leistungsvergleich von Gyros, Beschleunigungssensoren und Oszillatoren.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu MEMS und Sensoren

  1. Wie heißt die Dämpfung, die entsteht, wenn sich eine bewegliche Platte von MEMS auf eine ganz nahe feste Fläche zubewegt und dabei das dazwischenliegende Gas herausgedrückt wird?
  2. Welches Rauschen, bei dem die Masse durch thermischen Austausch mit Gasmolekülen der Umgebung zufällig schwankt, ist eine der Auflösungsgrenzen sehr kleiner MEMS-Beschleunigungssensoren und -Gyros?
  3. Welche Erklärung der Methode, aus der Änderung der Resonanzfrequenz bei Anlagerung von Stoffen an die Oberfläche winziger Biegebalken oder Schwingquarze kleinste Massen zu erfassen, ist korrekt?
  4. Welche Aussage zu MEMS ist korrekt?
  5. Welches Prinzip nutzt ein kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensor zur Erfassung der Beschleunigung?