MEMS und Sensoren

Welche Aussage zum Antriebsprinzip des als MEMS-Aktor verwendeten „Kammantriebs“ (Comb Drive) ist korrekt?

  1. AElektrostatische Anziehung, wenn zwischen ineinandergreifenden kammförmigen Elektroden eine Spannung anliegt
  2. BElektromagnetische Kraft von Magnet und Spule
  3. CAusdehnung durch Wärme
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Antwort: A. Elektrostatische Anziehung, wenn zwischen ineinandergreifenden kammförmigen Elektroden eine Spannung anliegt

Ein Kammaktor legt zwischen ineinandergreifende kammförmige feste und bewegliche Elektroden eine Spannung an und bewegt das bewegliche Teil seitlich durch elektrostatische Anziehung. Da die Bewegung in Richtung wechselnder Überlappungslänge erfolgt, ist die Kraft in Bezug auf den Weg nahezu konstant, und ein Pull-in wie bei Parallelplatten tritt kaum auf. Mit mehr Kammzähnen lässt sich die Kraft erhöhen; er wird für den Antrieb von Gyros, optische Schalter und MEMS-Spiegel verwendet und auch als Detektionselektrode eingesetzt.

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