MEMS und Sensoren

Welches Bauelement nutzt akustische Wellen, die sich an der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats ausbreiten, und wird in Hochfrequenzfiltern von Smartphones u. Ä. verwendet?

  1. ALCD-Panel
  2. BDRAM-Zelle
  3. CSAW-Filter (Oberflächenwellenfilter)
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Antwort: C. SAW-Filter (Oberflächenwellenfilter)

Ein SAW-Filter bildet auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats wie Lithiumtantalat kammförmige Elektroden (IDT), wandelt das elektrische Signal in eine sich an der Oberfläche ausbreitende akustische Welle um und lässt nur die durch den Elektrodenabstand bestimmte Frequenz durch. Akustische Wellen sind etwa 100000-mal langsamer als elektromagnetische Wellen, sodass die Wellenlänge kurz ist und hohe Frequenzen mit kleinen Chips behandelt werden können. Sie werden in Mobiltelefonen in großer Zahl im Band von einigen hundert MHz bis etwa 2 GHz verwendet, bei höheren Frequenzen kommen BAW-Filter zum Einsatz.

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