Moderne Transistoren (FinFET, GAA)

Wie viele Nanosheets werden bei in Serie gefertigten Nanosheet-GAA-Transistoren üblicherweise pro Transistor gestapelt?

  1. A1
  2. Betwa 3
  3. Cetwa 100
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Antwort: B. etwa 3

Bei heutigen Nanosheet-GAA wird üblicherweise eine Stapelung von etwa drei Sheets verwendet. Mehr Sheets erhöhen den Strom bei gleicher Fläche, doch der Stapel wird höher, das Epi-Wachstum von Source/Drain und das Einbringen des Gates zwischen die Sheets werden schwieriger, und bei unteren Sheets wächst der Einfluss parasitärer Widerstände und Kapazitäten. Zudem ist die steigende parasitäre Kapazität eher bei der Leistungsaufnahme als bei der Geschwindigkeit nachteilig, sodass die Zahl nach Abwägen von Nutzen und Schwierigkeit gewählt wird.

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