Wie heißt das Phänomen, bei dem Verunreinigungen aus dem Substrat u. Ä. beim epitaktischen Wachstum über die Gasphase in die aufwachsende Schicht eingebaut werden?

Antwort: A. Autodoping

Autodoping ist das Phänomen, bei dem Dotierstoffe aus einem hochdotierten Substrat bzw. dessen Rück- und Seitenflächen verdampfen und über das Gas in die wachsende Schicht eingebaut werden. Es tritt besonders zu Beginn des Wachstums auf; die Dotierungskonzentration der Epischicht weicht dann vom Sollwert ab, oder der Konzentrationsverlauf an der Grenzfläche wird flacher. Gegenmaßnahmen sind das Abdecken der Substratrückseite mit Oxid oder Polysilizium, Wachstum bei reduziertem Druck und das vorherige Austreiben der Dotierstoffe mit Gas vor dem Wachstum.