Reinraum und Fertigungsanlagen

Welches Gerät wird verwendet, um Anzahl und Größe der Partikel in der Reinraumluft zu messen?

  1. AOptischer Partikelzähler (Lichtstreuung)
  2. BVierspitzenmessgerät
  3. CEllipsometer
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Antwort: A. Optischer Partikelzähler (Lichtstreuung)

Ein optischer Partikelzähler nach dem Lichtstreuprinzip bestrahlt die angesaugte Luft mit Laserlicht und bestimmt aus der Intensität des von Partikeln gestreuten Lichts die Größe und aus der Anzahl der Lichtpulse die Zahl der Partikel. Er zählt Partikel bis etwa 0,1 µm, dient bei festgelegten Messpositionen und Ansaugmengen der Bewertung der ISO-Klasse und wird auch dauerhaft installiert, um Reinheitsänderungen routinemäßig zu überwachen. Es gibt auch Geräte zum Zählen von Partikeln in Flüssigkeiten, die für Reinstwasser und Chemikalien verwendet werden.

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