可靠度
關於閘極絕緣膜的絕緣破壞壽命,必須考慮試驗所用元件的面積與實際晶片整體閘極面積之差異,其理由下列何者正確?
- A因為面積與壽命無關
- B因為面積越大,壽命必定越長
- C因為破壞是從弱點開始發生,面積越大,提早破壞的機率越高,所以需要依據韋伯分佈進行面積換算
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正確答案:C. 因為破壞是從弱點開始發生,面積越大,提早破壞的機率越高,所以需要依據韋伯分佈進行面積換算
絕緣破壞被認為是最先發生在膜中最弱的地方(最弱連結)。面積越大,包含弱點的機率越高,壽命就越短。在韋伯分佈中,壽命與面積的−1/m次方成正比,因此例如斜率m=1.5且面積變為1000倍時,壽命變為1/100。藉由這個關係,將小型試驗元件的結果換算成晶片整體閘極的面積,估算產品的壽命。
- A. 面積與壽命有很大的關係。
- B. 面積越大,壽命越傾向變短。
- C. 正確。面積越大越容易提早破壞,需要換算。