在薄的閘極氧化膜中，於完全失去絕緣之前，漏電流呈階段性增加的輕微破壞稱為什麼？

正確答案：C. 軟崩潰（soft breakdown）

在厚度數nm以下的薄閘極氧化膜中，持續施加應力時，有時會先形成由缺陷相連的細導電路徑，發生漏電流階段性增加的軟崩潰。之後路徑會因熱而擴大，有時會進展到完全失去絕緣的硬崩潰。依電路不同，軟崩潰之後仍可繼續運作，因此壽命的判定基準成為討論的議題。