평행 평판형 정전 액추에이터에서 전압을 올려 가다가, 가동 전극이 어떤 위치를 넘는 순간 갑자기 고정 전극에 끌려가 달라붙는 현상을 무엇이라 하는가?

정답: C. 풀인(pull-in)

전극 간 정전 인력은 간격이 좁아질수록 급격히 강해지는 반면, 스프링의 복원력은 변위에 비례할 뿐이므로 어느 지점에서 균형을 유지할 수 없게 됩니다. 평행 평판에서는 이 지점이 초기 간격의 약 1/3만큼 움직인 곳이며, 이를 넘으면 가동 전극은 단번에 끌려갑니다(풀인). 그래서 연속적으로 움직일 수 있는 범위는 간격의 1/3까지로 제한됩니다. 반대로 RF MEMS 스위치에서는 이 현상을 이용하여 접점을 확실하게 닫습니다.

• A. 피에조 효과는 압전체에 힘을 가하면 전하가 생기는(또는 그 반대의) 현상입니다.
• B. 공진은 특정 주파수에서 진동이 커지는 현상입니다.
• C. 올바릅니다. 균형이 무너져 갑자기 끌려가는 현상입니다.