CVD装置のチャンバークリーニングで、PFCの排出削減の観点から採用されてきた方法として正しいものはどれか。

正解：B. NF3を装置の外でプラズマ分解し、生成したフッ素ラジカルで効率よくクリーニングするリモートプラズマ方式

かつてはC2F6などのPFCをチャンバー内でプラズマ化してクリーニングしていましたが、分解されずに排出される量が多いことが問題でした。リモートプラズマ方式ではNF3を装置の外で高効率に分解し、フッ素ラジカルだけをチャンバーに送るため、温室効果ガスの排出を大きく減らせます。