CVD 장치의 챔버 클리닝에서 PFC 배출 저감의 관점으로 채택되어 온 방법으로 올바른 것은?

정답: B. NF3를 장치 밖에서 플라즈마로 분해하고, 생성된 불소 라디칼로 효율적으로 클리닝하는 리모트 플라즈마 방식

예전에는 C2F6 같은 PFC를 챔버 안에서 플라즈마화하여 클리닝했지만, 분해되지 않고 배출되는 양이 많은 것이 문제였습니다. 리모트 플라즈마 방식에서는 NF3를 장치 밖에서 95% 이상의 높은 효율로 분해하고 불소 라디칼만 챔버로 보내므로, 온실가스 배출을 크게 줄일 수 있고 챔버 부품의 손상도 억제됩니다. C2F6를 늘리거나 클리닝을 그만두는 일은 하지 않습니다.