MEMS와 센서
MEMS 액추에이터로 사용되는 「빗살형(콤 드라이브)」의 구동 원리로 올바른 것은?
- A맞물린 빗살 모양 전극 사이에 전압을 가했을 때의 정전 인력
- B자석과 코일의 전자기력
- C열에 의한 팽창
정답과 해설 보기
정답: A. 맞물린 빗살 모양 전극 사이에 전압을 가했을 때의 정전 인력
빗살형 액추에이터는 서로 맞물린 빗살 모양의 고정 전극과 가동 전극 사이에 전압을 가해 정전 인력으로 가동부를 가로 방향으로 움직입니다. 겹치는 길이가 변하는 방향으로 움직이므로 이동량에 대해 힘이 거의 일정하고, 평행 평판과 같은 풀인이 잘 일어나지 않는 것이 특징입니다. 빗살의 수를 늘리면 힘을 크게 할 수 있으며, 자이로의 구동, 광 스위치, MEMS 미러 등에 사용됩니다. 검출용 전극으로도 사용됩니다.
- A. 올바릅니다. 빗살 모양 전극 사이의 정전 인력으로 움직입니다.
- B. 전자기력을 사용하는 전자기 구동과는 다른 방식입니다.
- C. 열팽창을 사용하는 열 구동과는 다른 방식입니다.