DRAM

DRAMのキャパシタの誘電体膜に、酸化ジルコニウムなどのHigh-k材料が使われる理由として正しいものはどれか。

  1. A小さな面積でも必要な容量を確保するため
  2. B配線の抵抗を下げるため
  3. Cキャパシタを発光させるため
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正解:A. 小さな面積でも必要な容量を確保するため

キャパシタの容量は誘電率に比例します。セルが小さくなっても、データを正しく読み出すにはある程度の容量が必要なため、SiO2より誘電率の高いZrO2などのHigh-k材料を使い、小さな面積で必要な容量を確保しています。

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