Wat is Passivatielaag?

Film op de bovenste laag van de chip die de interne schakelingen beschermt tegen vocht, verontreiniging en mechanische krassen. Siliciumnitride, polyimide en dergelijke worden gebruikt.

Japanse benaming: パッシベーション膜

Vakgebied: Interconnectprocessen

Vergelijkingen met deze term

LPCVD versus PECVD: temperatuur, kwaliteit, stapbedekking en stressLPCVD en PECVD vergeleken: temperatuur, laagkwaliteit, waterstofgehalte, stapbedekking, stress, verwerkingswi…

Verwante termen

Air gap Backside power delivery Barrièremetaal (barrier metal) Contact Crosstalk Damascene-proces Dual-damascene IR-drop Low-k-materiaal Meerlaagse bedrading

Naar de woordenlijst