Welke methode is juist om bij kamertemperatuur vloeibare grondstoffen (zoals TEOS) als gas aan CVD-apparatuur te leveren?

Antwoord: A. Draaggas door de vloeistof leiden om de damp mee te voeren (bubbelen) of de vloeistof in een verdamper verdampen en toevoeren

Vloeibare grondstoffen worden als gas naar de reactor gestuurd door bubbelen, waarbij draaggas in een container op beheerste temperatuur wordt geblazen om de damp mee te voeren, of door de vloeistofstroom te meten en in een verdamper in één keer te verdampen. Bij bubbelen schommelt de toevoer gemakkelijk met veranderingen van de vloeistoftemperatuur, en de verdampermethode kan nauwkeuriger worden geregeld. TEOS is een vloeistof met een kookpunt van ca. 168 °C en de leidingen worden verwarmd om te voorkomen dat het weer vloeibaar wordt. Door de vloeistof er direct in te gieten kan geen uniforme laag worden gemaakt.