Wie werden bei Raumtemperatur flüssige Ausgangsstoffe (z. B. TEOS) der CVD-Anlage als Gas zugeführt?

Antwort: A. Ein Trägergas wird durch die Flüssigkeit geleitet, um Dampf zu transportieren (Bubbling), oder die Flüssigkeit wird in einem Verdampfer verdampft und zugeführt

Flüssige Ausgangsstoffe werden als Gas zum Reaktor geführt, entweder durch Bubbling, bei dem ein Trägergas in einen temperaturgeregelten Behälter geblasen wird und Dampf transportiert, oder durch ein Verfahren, bei dem der Flüssigkeitsdurchfluss gemessen und in einem Verdampfer schlagartig verdampft wird. Beim Bubbling schwankt die Zufuhrmenge leicht mit der Flüssigkeitstemperatur, und das Verdampferverfahren lässt sich genauer steuern. TEOS ist eine Flüssigkeit mit einem Siedepunkt von etwa 168 ℃, und auch die Leitungen werden beheizt, damit sie nicht wieder zu Flüssigkeit kondensieren. Direktes Eingießen der Flüssigkeit ergibt keine gleichmäßige Abscheidung.