Quelle méthode est correcte pour fournir sous forme gazeuse à un équipement de CVD un précurseur liquide à température ambiante (TEOS, etc.) ?

Réponse : A. Faire barboter un gaz porteur dans le liquide pour entraîner la vapeur (bullage), ou vaporiser le liquide dans un vaporiseur

Les précurseurs liquides sont envoyés au réacteur sous forme gazeuse, soit par bullage, en insufflant un gaz porteur dans un récipient thermostaté pour entraîner la vapeur, soit en mesurant le débit de liquide et en le vaporisant d'un coup dans un vaporiseur. Avec le bullage, le débit fluctue facilement avec la température du liquide ; le vaporiseur permet un contrôle plus précis. Le TEOS est un liquide dont le point d'ébullition vaut environ 168 ℃, et les canalisations sont chauffées pour éviter qu'il ne se recondense. Versé tel quel à l'état liquide, il ne permettrait pas un dépôt uniforme.