Was ist der Hauptgrund, dass Dotierstoffgase wie Diboran und Phosphin meist mit Wasserstoff oder Stickstoff auf niedrige Konzentration verdünnt zugeführt werden?

Antwort: B. Weil die benötigte Zugabemenge sehr gering ist, sich der Durchfluss leichter genau steuern lässt und das Risiko durch Giftigkeit und Reaktivität sinkt

Da die Zugabemenge von Dotierstoffen winzig ist, wäre der Durchfluss bei reinem Gas zu klein, um mit einem Massendurchflussregler genau gesteuert zu werden. Bei Verdünnung mit Wasserstoff oder Stickstoff auf einige % bis ppm-Niveau lässt sich die benötigte Menge mit handhabbarem Durchfluss genau zuführen. Auch die Konzentration bei Lecks sinkt, und die Gefahr durch Giftigkeit und Selbstentzündung wird verringert. Diboran zersetzt sich als reines Gas schon bei Raumtemperatur allmählich, sodass die Verdünnung auch hinsichtlich der Stabilität nützlich ist.