Pourquoi les gaz dopants comme le diborane ou la phosphine sont-ils le plus souvent fournis dilués à faible concentration dans l'hydrogène ou l'azote ?

Réponse : B. Parce que les quantités de dopant nécessaires sont infimes : la dilution facilite le contrôle précis du débit et réduit les risques liés à la toxicité et à la réactivité

Les quantités de dopant étant infimes, un gaz pur exigerait des débits trop faibles pour être contrôlés précisément par un régulateur de débit massique. Dilué à quelques % voire au niveau du ppm dans l'hydrogène ou l'azote, il permet de délivrer exactement la quantité requise avec un débit facile à gérer. La dilution abaisse aussi la concentration en cas de fuite et réduit les risques de toxicité et d'inflammation spontanée. Le diborane pur se décomposant progressivement même à température ambiante, la dilution améliore aussi sa stabilité.