Comment s’appelle le phénomène par lequel, dans un actionneur électrostatique à plaques parallèles, l’électrode mobile est brusquement attirée et collée à l’électrode fixe au-delà d’une certaine position lorsque la tension augmente ?

Réponse : C. Pull-in

La force électrostatique entre électrodes croît rapidement à mesure que l’écart diminue, alors que la force de rappel du ressort n’est que proportionnelle au déplacement ; l’équilibre ne peut plus être maintenu au-delà d’un certain point. Pour des plaques parallèles, ce point correspond à un déplacement d’environ 1/3 de l’écart initial ; au-delà, l’électrode mobile est attirée d’un seul coup (pull-in). La plage de déplacement continu est donc limitée à 1/3 de l’écart. À l’inverse, les commutateurs RF MEMS exploitent ce phénomène pour fermer le contact de façon sûre.