Welke methode meet de dikte van een epilaag met lage concentratie op een substraat met hoge concentratie met behulp van interferentie van infrarood licht?

Antwoord: C. Fouriertransformatie-infraroodspectroscopie (FTIR)

Een substraat met hoge concentratie bevat veel vrije ladingdragers, waardoor de brekingsindex voor infrarood licht iets afwijkt van die van de epilaag met lage concentratie en aan het grensvlak reflectie optreedt. Als met FTIR de afstand tussen de interferentiefranjes van het licht dat aan het oppervlak en aan het grensvlak wordt gereflecteerd wordt gemeten, kan de dikte van de epilaag niet-destructief, contactloos en binnen enkele seconden worden bepaald. Is het concentratieverschil tussen substraat en epilaag klein, dan is de reflectie aan het grensvlak zwak en is meten niet mogelijk; dan worden doorsnedewaarneming of C-V-metingen gebruikt.