LSI-ontwerpflow en EDA
Welke toewijzing van patronen door de ontwerptool is juist bij een layout die uitgaat van double patterning?
- AAlle patronen worden samengevoegd op één masker
- BPatronen worden willekeurig verwijderd
- CPatronen worden over twee maskers verdeeld (gekleurd), zodat patronen binnen hetzelfde masker niet te dicht bij elkaar komen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Patronen worden over twee maskers verdeeld (gekleurd), zodat patronen binnen hetzelfde masker niet te dicht bij elkaar komen
Bij double patterning worden patronen met een onderlinge afstand die met één belichting niet kan worden opgelost, verdeeld over twee maskers en afzonderlijk belicht. De ontwerptool kleurt (coloring) de patronen zodat te dicht bij elkaar liggende patronen op verschillende maskers komen. Wanneer drie patronen een oneven cyclus vormen waarin ze allemaal dicht bij elkaar liggen, kunnen ze niet met twee kleuren worden ingekleurd, en wordt dat als fout gemeld en moet het worden gecorrigeerd. Ze worden niet samengevoegd tot één masker of willekeurig verwijderd.