LSI-ontwerpflow en EDA

Welke toewijzing van patronen door de ontwerptool is juist bij een layout die uitgaat van double patterning?

  1. AAlle patronen worden samengevoegd op één masker
  2. BPatronen worden willekeurig verwijderd
  3. CPatronen worden over twee maskers verdeeld (gekleurd), zodat patronen binnen hetzelfde masker niet te dicht bij elkaar komen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Patronen worden over twee maskers verdeeld (gekleurd), zodat patronen binnen hetzelfde masker niet te dicht bij elkaar komen

Bij double patterning worden patronen met een onderlinge afstand die met één belichting niet kan worden opgelost, verdeeld over twee maskers en afzonderlijk belicht. De ontwerptool kleurt (coloring) de patronen zodat te dicht bij elkaar liggende patronen op verschillende maskers komen. Wanneer drie patronen een oneven cyclus vormen waarin ze allemaal dicht bij elkaar liggen, kunnen ze niet met twee kleuren worden ingekleurd, en wordt dat als fout gemeld en moet het worden gecorrigeerd. Ze worden niet samengevoegd tot één masker of willekeurig verwijderd.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over LSI-ontwerpflow en EDA

  1. Welke uitspraak over een netlist is juist?
  2. Hoe heet de beschrijving van timingvoorwaarden zoals klokperiode en vertragingen van ingangen en uitgangen die bij logische synthese en statische timinganalyse wordt gebruikt?
  3. Welk formaat is kenmerkend voor de layoutgegevens die voor de maskerproductie aan de productiekant worden overgedragen?
  4. Welk proces aan het begin van place and route bepaalt de globale plaatsing van grote schakelingsblokken, in- en uitgangspinnen en voedingsbedrading?
  5. Welke maat wordt bij RTL-verificatie gebruikt om te beoordelen hoe volledig de verificatie is uitgevoerd?

Vergelijkingen bij dit onderwerp