Welk model beschrijft, afhankelijk van temperatuur en gasdruk, dat een door sputteren afgezette metaallaag bij lage depositietemperatuur gemakkelijk een structuur van kolomvormige korrels met veel tussenruimten krijgt?

Antwoord: A. Thornton-structuurzonemodel

Het structuurzonemodel van Thornton (1974) ordent hoe de microstructuur van een laag, afhankelijk van de verhouding tussen substraattemperatuur en smeltpunt van het materiaal (T/Tm) en de sputtergasdruk, verandert van een kolomvormige structuur met veel tussenruimten (zone 1), via een dichte vezelachtige structuur (zone T) en grote kolomvormige kristallen (zone 2), tot herkristalliseerde equiaxiale kristallen (zone 3). Bij lage temperatuur en hoge gasdruk kunnen atomen zich niet over het oppervlak verplaatsen en ontstaat een laag met veel tussenruimten; het model geeft een richtlijn voor dichtheid, spanning en soortelijke weerstand van de laag.