Laagafzetting (CVD, PVD)
Welke omstandigheden geven bij CVD een goede stapdekking (conformaliteit)?
- AOmstandigheden waarbij de oppervlaktereactie bepalend is (relatief lage temperatuur, lage druk en dergelijke)
- BOmstandigheden waarbij de toevoer van brongas bepalend is
- COmstandigheden waarbij het brongas met hoge snelheid uit één richting wordt aangeblazen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Omstandigheden waarbij de oppervlaktereactie bepalend is (relatief lage temperatuur, lage druk en dergelijke)
Onder oppervlaktereactiegelimiteerde omstandigheden bereikt het brongas het diepste deel van de sleuf voordat het langzaam aan het oppervlak reageert, zodat het verschil in depositiesnelheid per plaats klein is en ook op zijwanden en bodem van de trede gelijkmatig wordt afgezet. Bij relatief lage temperatuur verloopt de reactie trager en bij lage druk diffundeert het gas sneller, zodat deze omstandigheden worden benaderd. Bij toevoergelimiteerde omstandigheden wordt daarentegen de laag dikker bij de opening waar het gas gemakkelijk komt en sluit de ingang gemakkelijk af.