클린룸과 장비
클린룸 공기 중에 포함된 미립자의 수와 크기를 측정하는 데 사용되는 장치는 무엇인가?
- A광산란식 파티클 카운터
- B4탐침 측정기
- C엘립소미터
정답과 해설 보기
정답: A. 광산란식 파티클 카운터
광산란식 파티클 카운터는 흡입한 공기에 레이저 빛을 쏘아, 입자가 산란하는 빛의 세기로 입자의 크기를, 빛 펄스의 수로 개수를 구합니다. 0.1 µm 정도의 입자까지 셀 수 있으며, 정해진 위치와 흡입량으로 측정하여 ISO 클래스를 평가하는 것 외에, 상시 설치하여 청정도의 변화를 일상적으로 감시하는 데에도 사용됩니다. 액체 속 입자를 세는 장치도 있으며 초순수나 약액 관리에 사용됩니다.
- A. 맞습니다. 산란광으로 입자를 셉니다.
- B. 4탐침 측정기는 박막이나 웨이퍼의 저항률을 측정하는 장비입니다.
- C. 엘립소미터는 박막의 두께나 굴절률을 측정하는 장비입니다.