Salles blanches et équipements

Quel appareil sert à mesurer le nombre et la taille des fines particules contenues dans l'air d'une salle blanche ?

  1. ACompteur de particules à diffusion de lumière
  2. BAppareil de mesure à quatre pointes
  3. CEllipsomètre
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Réponse : A. Compteur de particules à diffusion de lumière

Le compteur de particules à diffusion de lumière éclaire l'air aspiré par un faisceau laser ; l'intensité de la lumière diffusée par une particule donne sa taille, et le nombre d'impulsions lumineuses leur nombre. Il compte des particules jusqu'à environ 0,1 µm ; outre l'évaluation de la classe ISO par des mesures à des emplacements et volumes d'aspiration définis, il sert, installé à demeure, à la surveillance quotidienne de la propreté. Il existe aussi des appareils comptant les particules dans les liquides, utilisés pour maîtriser l'eau ultrapure et les produits chimiques.

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