びあ
多層配線で、上下の配線層の間を電気的につなぐ導体。絶縁膜にあけた穴に金属を埋め込んでつくる。
일본어 명칭: ビア
분야: 배선 공정
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト
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