MEMS와 센서

스프링과 추로 이루어진 MEMS 구조의 공진 주파수를 높이는 방법으로 올바른 것은?

  1. A스프링을 부드럽게 하고 추를 무겁게 한다
  2. B스프링을 단단하게 하거나 추를 가볍게 한다
  3. C구조의 색을 바꾼다
정답과 해설 보기

정답: B. 스프링을 단단하게 하거나 추를 가볍게 한다

스프링 상수 k, 질량 m인 구조의 공진 주파수는 f = (1/2π)√(k/m)이며, 스프링을 단단하게 하거나 추를 가볍게 하면 높아집니다. 가속도 센서에서는 추의 변위가 가속도÷(2πf)²에 비례하므로 공진 주파수를 높일수록 감도는 떨어집니다. 한편 응답 가능한 대역과 내충격성은 올라가므로, 감도와 대역의 균형을 고려해 공진 주파수(수 kHz 정도)를 정합니다.

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