배선 공정

배선의 폭을 바꾸지 않고 두께(높이)를 크게 했을 때의 영향으로 올바른 것은?

  1. A저항도 용량도 변하지 않는다
  2. B저항도 용량도 내려간다
  3. C저항은 내려가지만 이웃 배선과 마주 보는 면적이 늘어 배선 간 용량은 올라간다
정답과 해설 보기

정답: C. 저항은 내려가지만 이웃 배선과 마주 보는 면적이 늘어 배선 간 용량은 올라간다

배선을 두껍게 하면 단면적이 늘어 저항은 내려가지만, 이웃 배선과 마주 보는 측면의 면적이 늘어나기 때문에 배선 간 용량은 커집니다. RC 지연은 저항과 용량의 곱이므로 너무 두껍게 하면 개선되지 않고 소비 전력과 크로스토크도 늘어납니다. 그래서 지연, 전력, 크로스토크의 균형을 고려하여 배선의 두께와 폭의 비(종횡비, 2 안팎)를 층마다 정합니다.

  • A. 단면적과 마주 보는 면적이 변하므로 둘 다 변합니다.
  • B. 용량은 마주 보는 면적이 늘어 올라갑니다.
  • C. 맞습니다. 저항은 내려가고 용량은 올라갑니다.
이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

배선 공정의 다른 문제

  1. 기계적으로 약한 Low-k막을 사용한 칩에서 패키지에 실장할 때의 응력으로 막이 깨지거나 벗겨지는 문제를 무엇이라고 하는가?
  2. Cu 배선 윗면에 절연막 측으로의 확산 방지와 식각 정지를 겸하여 붙이는 막으로 일반적인 것은?
  3. 일렉트로마이그레이션 시험에서 어떤 길이보다 짧은 배선은 수명이 크게 늘어나는(열화가 거의 진행되지 않는) 현상이 알려져 있다. 이 현상의 이름은?
  4. 배선 폭이 결정립보다 좁아져서 결정 입계가 배선을 가로지르며 늘어선 구조를 무엇이라고 하며, 일렉트로마이그레이션에 어떤 영향을 주는가?
  5. 높은 주파수의 신호가 배선을 흐를 때 전류가 도체의 표면 부근에 집중되어 유효 저항이 올라가는 현상을 무엇이라고 하는가?