클린룸과 장비

리소그래피 공정 구역에서 노란색 조명을 사용하는 주된 이유는 무엇인가?

  1. A작업자의 눈의 피로를 막기 위해
  2. B포토레지스트를 감광시키는 단파장 빛이 포함되지 않도록 하기 위해
  3. C정전기 발생을 막기 위해
정답과 해설 보기

정답: B. 포토레지스트를 감광시키는 단파장 빛이 포함되지 않도록 하기 위해

포토레지스트는 자외선이나 푸른 빛 등 대략 500 nm보다 짧은 파장의 빛에 반응합니다. 일반 백색 조명에는 이러한 빛이 포함되어 있으므로, 짧은 파장을 차단한 노란색 조명을 사용하여 도포부터 현상까지 의도하지 않은 감광이 일어나는 것을 막습니다. 이러한 구역을 옐로 룸이라고 부릅니다. 눈의 피로나 정전기를 막기 위한 것이 아닙니다.

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