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Rendement et contrôle qualité

Comment appelle-t-on le dispositif qui surveille pendant le traitement les données des capteurs des équipements (température, pression, puissance, etc.) et détecte les états inhabituels pour signaler rapidement les anomalies ?

  1. ACMP
  2. BMES
  3. CFDC (détection et classification des défauts)
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Réponse : C. FDC (détection et classification des défauts)

La FDC (Fault Detection and Classification) collecte en temps réel pendant le traitement les données des capteurs des équipements (température, pression, puissance, débit de gaz, etc.), détecte les écarts par rapport aux signatures normales pour déclencher des alarmes et classe les types d'anomalies. Les anomalies pouvant être détectées avant la mesure des produits, voire au stade du wafer en cours de traitement, elle évite la production massive de défauts. Le MES est le système de gestion du flux de production.

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