제조 장비의 센서 데이터(온도·압력·전력 등)를 처리 중에 감시하여 평소와 다른 상태를 감지하고 이상을 빨리 알리는 구조를 무엇이라고 합니까?

정답: C. FDC(고장 검지·분류)

FDC(Fault Detection and Classification)는 장비의 온도·압력·전력·가스 유량 등의 센서 데이터를 처리 중에 실시간으로 수집하여, 정상일 때의 파형과의 차이를 감지해 경보를 내거나 이상의 종류를 분류하는 구조입니다. 제품을 계측하기 전에, 경우에 따라서는 처리 중인 웨이퍼 단계에서 이상을 알아챌 수 있어 불량의 대량 발생을 막을 수 있습니다. MES는 생산 흐름을 관리하는 시스템입니다.

• A. CMP는 연마로 평탄화하는 공정입니다.
• B. MES는 공장의 생산 흐름을 관리하는 시스템입니다.
• C. 올바릅니다. 장비 데이터로 이상을 조기에 감지합니다.