Hoe heet het systeem dat tijdens de verwerking sensorgegevens van productieapparatuur (temperatuur, druk, vermogen enzovoort) bewaakt, een afwijkende toestand detecteert en snel een afwijking meldt?

Antwoord: C. FDC (Fault Detection and Classification)

FDC (Fault Detection and Classification) is een systeem dat tijdens de verwerking in real time sensorgegevens van de apparatuur, zoals temperatuur, druk, vermogen en gasstroom, verzamelt, afwijkingen van het signaalverloop bij normale werking detecteert en een alarm geeft, en het type afwijking classificeert. Doordat een afwijking vóór de meting van het product, in sommige gevallen al bij de wafer in bewerking, wordt opgemerkt, kan massaal optreden van defecten worden voorkomen. MES is een systeem dat de productiestroom beheert.