歩留まり・品質管理
製造装置のセンサのデータ(温度・圧力・電力など)を処理中に監視し、普段と違う状態を検知して異常を早く知らせる仕組みを何と呼ぶか。
- ACMP
- BMES
- CFDC(故障検知・分類)
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正解:C. FDC(故障検知・分類)
FDC(Fault Detection and Classification)は、装置のセンサのデータをリアルタイムに収集し、正常な状態からのずれを検知して警報を出したり、異常の種類を分類したりする仕組みです。製品を計測する前に異常に気づけるため、不良の大量発生を防げます。
- A. CMPは研磨で平坦化する工程です。
- B. MESは工場の生産の流れを管理するシステムです。
- C. 正しい。装置のデータで異常を早期に検知します。