良率與品質管理
在處理過程中監控製造設備的感測器資料（溫度、壓力、功率等），偵測與平常不同的狀態並及早通知異常的機制，稱為什麼？
- ACMP
- BMES
- CFDC（故障偵測與分類）
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正確答案：C. FDC（故障偵測與分類）
FDC（Fault Detection and Classification）是在處理過程中即時蒐集設備的溫度、壓力、功率、氣體流量等感測器資料，偵測其與正常時波形的偏離並發出警報，或將異常的種類加以分類的機制。由於能在量測產品之前，甚至視情況在處理中晶圓的階段就察覺異常，所以可以防止大量不良的發生。MES則是管理生產流程的系統。
- A. CMP是以研磨進行平坦化的製程。
- B. MES是管理工廠生產流程的系統。
- C. 正確。以設備資料及早偵測異常。