Ausbeute und Qualitätskontrolle

Wie heißt der Mechanismus, der Sensordaten von Fertigungsanlagen (Temperatur, Druck, Leistung usw.) während der Bearbeitung überwacht, vom Üblichen abweichende Zustände erkennt und Störungen früh meldet?

  1. ACMP
  2. BMES
  3. CFDC (Fault Detection and Classification)
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Antwort: C. FDC (Fault Detection and Classification)

FDC (Fault Detection and Classification) ist ein Mechanismus, der Sensordaten von Anlagen wie Temperatur, Druck, Leistung und Gasfluss während der Bearbeitung in Echtzeit erfasst, Abweichungen vom Verlauf im Normalfall erkennt, Alarm auslöst und die Art der Störung klassifiziert. Da Störungen schon vor der Messung des Produkts, mitunter bereits am bearbeiteten Wafer, bemerkt werden, lässt sich ein massenhaftes Auftreten von Fehlern verhindern. MES ist ein System zur Verwaltung des Produktionsflusses.

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