Fiabilité

Quel phénomène voit, même sans courant, les atomes métalliques se déplacer sous l'effet des contraintes internes d'une interconnexion et former des vides ?

  1. AÉlectromigration
  2. BMigration sous contrainte (stress migration)
  3. CLatch-up
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Réponse : B. Migration sous contrainte (stress migration)

Les coefficients de dilatation thermique de l'interconnexion et de l'isolant environnant différant, une contrainte de traction subsiste dans l'interconnexion après les traitements thermiques de fabrication. La migration sous contrainte est le phénomène par lequel les atomes métalliques se déplacent pour relâcher cette contrainte et forment des vides. Elle survient le plus facilement à des températures moyennes (environ 150 à 250 ℃) où les atomes sont mobiles, et pose problème notamment aux connexions entre interconnexions larges et vias. On la distingue de l'électromigration, causée par le courant.

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