신뢰성
전류가 흐르지 않아도 배선 내부의 응력에 의해 금속 원자가 이동하여 보이드가 발생하는 현상은?
- A일렉트로마이그레이션
- B스트레스 마이그레이션
- C래치업
정답과 해설 보기
정답: B. 스트레스 마이그레이션
배선과 주위 절연막은 열팽창 계수가 다르기 때문에, 제조 시의 열처리 뒤에 배선 내부에 인장 응력이 남습니다. 이 응력을 완화하려고 금속 원자가 이동하여 보이드가 생기는 현상이 스트레스 마이그레이션입니다. 원자가 움직이기 쉬운 중간 정도의 온도(150~250 ℃ 정도)에서 가장 잘 일어나며, 굵은 배선과 비아의 접속부 등에서 문제가 됩니다. 전류가 원인인 일렉트로마이그레이션과는 구별됩니다.