Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)
Quelle est la méthode typique de production, à proximité de l'usine, de l'azote consommé en grandes quantités dans les usines de semi-conducteurs ?
- ABrûler du pétrole
- BRefroidir et liquéfier l'air, puis séparer l'azote par différence de points d'ébullition (distillation cryogénique)
- CÉlectrolyser l'eau
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Réponse : B. Refroidir et liquéfier l'air, puis séparer l'azote par différence de points d'ébullition (distillation cryogénique)
L'azote en grande quantité est produit par distillation cryogénique : l'air est comprimé, refroidi et liquéfié, puis séparé grâce à la différence des points d'ébullition (environ −196 ℃ pour l'azote, environ −183 ℃ pour l'oxygène). L'air contenant environ 78 % d'azote, la matière première est inépuisable et l'on obtient de grandes quantités d'azote de haute pureté. Les grandes usines installent l'unité de séparation de l'air sur site ou sur un terrain adjacent et distribuent l'azote par canalisations. La combustion du pétrole ne fournit pas d'azote de haute pureté, et l'électrolyse de l'eau produit de l'hydrogène et de l'oxygène.
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