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MEMS et capteurs

Quel est le principe d’entraînement de l’actionneur MEMS « à peignes interdigités (comb drive) » ?

  1. AL’attraction électrostatique lorsqu’une tension est appliquée entre des électrodes en peigne imbriquées
  2. BLa force électromagnétique entre un aimant et une bobine
  3. CLa dilatation thermique
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Réponse : A. L’attraction électrostatique lorsqu’une tension est appliquée entre des électrodes en peigne imbriquées

L’actionneur à peignes applique une tension entre des électrodes fixes et mobiles en forme de peignes imbriqués et déplace latéralement la partie mobile par attraction électrostatique. Le mouvement modifiant la longueur de recouvrement, la force est quasi constante par rapport au déplacement et le pull-in, typique des plaques parallèles, se produit difficilement. Augmenter le nombre de dents accroît la force ; il sert à l’entraînement des gyroscopes, aux commutateurs optiques, aux miroirs MEMS, etc. Il sert aussi d’électrode de détection.

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