Umwelt und Sicherheit

Welches Verfahren wird bei der Kammerreinigung von CVD-Anlagen unter dem Gesichtspunkt der PFC-Emissionsminderung eingesetzt?

  1. AVerstärkte Reinigung mit C2F6
  2. BRemote-Plasma-Verfahren, bei dem NF3 außerhalb der Anlage im Plasma zersetzt und mit den entstehenden Fluorradikalen effizient gereinigt wird
  3. CEs wird überhaupt nicht gereinigt
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Antwort: B. Remote-Plasma-Verfahren, bei dem NF3 außerhalb der Anlage im Plasma zersetzt und mit den entstehenden Fluorradikalen effizient gereinigt wird

Früher wurden PFCs wie C2F6 in der Kammer zu Plasma angeregt und zur Reinigung verwendet, wobei ein Problem darin bestand, dass viel unzersetzt emittiert wurde. Beim Remote-Plasma-Verfahren wird NF3 außerhalb der Anlage mit hoher Effizienz von über 95 % zersetzt und nur die Fluorradikale werden in die Kammer geleitet; die Treibhausgasemissionen sinken dadurch stark, und auch die Schädigung von Kammerteilen wird begrenzt. Die Menge an C2F6 wird weder erhöht, noch wird auf die Reinigung verzichtet.

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