DRAM
Pourquoi des matériaux High-k comme l'oxyde de zirconium sont-ils utilisés comme diélectrique des condensateurs DRAM ?
- APour assurer la capacité nécessaire sur une petite surface
- BPour réduire la résistance des interconnexions
- CPour faire émettre de la lumière au condensateur
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Réponse : A. Pour assurer la capacité nécessaire sur une petite surface
La capacité d'un condensateur vaut C = εA/t et est proportionnelle à la permittivité. Une capacité d'environ 10 fF restant nécessaire malgré la réduction des cellules, on utilise des matériaux High-k comme le ZrO2 (environ 25 à 40), de permittivité supérieure à celle du SiO2 (permittivité relative d'environ 3,9). La structure ZAZ, empilement de ZrO2 et d'Al2O3, est largement utilisée, déposée uniformément par ALD à l'intérieur de trous à fort rapport d'aspect. La difficulté est que plus la permittivité est élevée, plus la bande interdite est petite et les fuites importantes.