Was ist Siliziumphotonik?

Technik zur Integration optischer Schaltungen wie Wellenleiter, Modulatoren und Photodetektoren auf Silizium. Sie nutzt Materialien und Prozesse von CMOS-Fabs und ermöglicht die Massenfertigung auf 200-mm- oder 300-mm-Wafern. Da Silizium schlecht Licht emittiert, werden Laser mithilfe von Verbindungshalbleitern ergänzt.

Japanische Bezeichnung: シリコンフォトニクス

„Siliziumphotonik“ kommt in 7 Übungsfragen aus 4 Themen vor, z. B. Siliziumphotonik, Verbindungshalbleiter, Halbleiterphysik.

Querschnitt von Si-Wellenleitern (Streifen und Rippe) SiO₂ (n ≈ 1,45) Si (n ≈ 3,5) Lichtfeld SiO₂-Mantel vergrabenes Oxid (BOX) Si-Substrat Breite ca. 500 nm d = 220 nm SiO₂-Mantel vergrabenes Oxid (BOX) Si-Substrat Breite ca. 500 nm Slab Streifenwellenleiter Rippenwellenleiter starke Führung, enge Biegungen Elektrodenanschluss über Slab
Querschnitt von Si-Wellenleitern (Streifen und Rippe) · Im Diagrammverzeichnis ansehen

Fachgebiet: Siliziumphotonik

Jetzt üben: Fragen zu Siliziumphotonik

Warum werden in der Siliziumphotonik Verbindungshalbleiter als Laserlichtquelle kombiniert?

  1. AWeil Silizium überhaupt kein Licht durchlässt
  2. BWeil Verbindungshalbleiter stets billiger sind
  3. CWeil Silizium einen indirekten Bandübergang hat und nicht effizient Licht emittieren kann
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Antwort: C. Weil Silizium einen indirekten Bandübergang hat und nicht effizient Licht emittieren kann

In Silizium lassen sich Wellenleiter, Modulatoren und Photodetektoren mit Germanium in CMOS-Fabriken präzise und in großen Stückzahlen herstellen; wegen des indirekten Bandübergangs ist Silizium jedoch keine effiziente Lichtquelle. Deshalb werden Laser auf InP-Basis u. Ä. auf den Siliziumwafer gebondet (heterogene Integration) oder als separater Chip kombiniert und als Lichtquelle verwendet. Als Technik für optische Verbindungen in KI-Rechenzentren entwickelt sich die optisch-elektronische Konvergenz rasch.

Was ist die Hauptaufgabe der vergrabenen Oxidschicht (BOX-Schicht) eines in der Siliziumphotonik verwendeten SOI-Wafers?

  1. ASie dient als Absorptionsschicht eines unter dem Wellenleiter liegenden Photodetektors, der Licht der Telekommunikationswellenlängen absorbiert und in Strom umwandelt
  2. BSie dient als lichtemittierende Schicht, um in der oberen Siliziumschicht Licht zu erzeugen
  3. CSie bildet den unteren Mantel des Wellenleiters und verhindert, dass Licht in das Siliziumsubstrat entweicht
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Antwort: C. Sie bildet den unteren Mantel des Wellenleiters und verhindert, dass Licht in das Siliziumsubstrat entweicht

Ein SOI-Wafer (Silicon on Insulator) besteht aus einem Siliziumsubstrat, darauf einem vergrabenen Oxid (BOX) und darüber einer dünnen einkristallinen Siliziumschicht. Aus der oberen Siliziumschicht (häufig mit einer Dicke von 220 nm) werden Wellenleiter strukturiert, und das BOX mit seinem niedrigen Brechungsindex bildet den unteren Mantel. Ist das BOX zu dünn, entweicht das aus dem Wellenleiter austretende Licht (evaneszentes Licht) in das Siliziumsubstrat mit hohem Brechungsindex; daher wird häufig ein dickes BOX von etwa 2 bis 3 µm verwendet. Oxid hat eine große Bandlücke und absorbiert oder emittiert kein Licht.

„Siliziumphotonik“ in den Erläuterungen

Fragen mit „Siliziumphotonik“ (7)

  1. Warum werden in der Siliziumphotonik Verbindungshalbleiter als Laserlichtquelle kombiniert?
  2. Was ist die Hauptaufgabe der vergrabenen Oxidschicht (BOX-Schicht) eines in der Siliziumphotonik verwendeten SOI-Wafers?
  3. In der Siliziumphotonik werden neben Silizium-Wellenleitern mitunter auch Wellenleiter aus Siliziumnitrid (SiN) eingesetzt. Welche Aussage zu den Eigenschaften von SiN-Wellenleitern ist richtig?
  4. Was ist der Hauptgrund dafür, dass Siliziumphotonik als geeignet für die Massenfertigung in Halbleiterfabriken gilt?
  5. Warum ist bei indirekten Halbleitern wie Silizium die Wahrscheinlichkeit gering, dass Elektronen und Löcher unter Lichtemission rekombinieren?
  6. Welches Material ist für Fotodioden geeignet, die Licht im 1,55-µm-Band der Glasfaserkommunikation empfangen?
  7. Welche Erklärung des Wellenlängenmultiplex (WDM) ist richtig?

Verwandte Begriffe

Wellenleiter InP (Indiumphosphid) Bitfehlerrate (BER) Bandlücke (Bandgap) CMOS Brechungsindex SOI-Wafer Auslöschung kleiner Summanden (Absorption) Trockenätzen Ionenimplantation

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