Wat is Siliciumfotonica?

Technologie voor het integreren van optische schakelingen zoals golfgeleiders, modulatoren en fotodetectoren op silicium. Gebruikt de materialen en processen van CMOS-fabs, wat massaproductie op wafers van 200 mm of 300 mm mogelijk maakt. Omdat silicium slecht licht uitzendt, worden lasers toegevoegd met behulp van verbindingshalfgeleiders.

Japanse benaming: シリコンフォトニクス

“Siliciumfotonica” komt voor in 7 oefenvragen uit 4 onderwerpen, bijv. Siliciumfotonica, Verbindingshalfgeleiders, Halfgeleiderfysica.

Doorsnede van Si-golfgeleiders (strip en rib) SiO₂ (n ≈ 1,45) Si (n ≈ 3,5) Lichtverdeling SiO₂-mantel Begraven oxide (BOX) Si-substraat Breedte ≈ 500 nm 220 nm dik SiO₂-mantel Begraven oxide (BOX) Si-substraat Breedte ≈ 500 nm Slab Stripgolfgeleider Ribgolfgeleider Sterke opsluiting, krappe bochten Elektrodecontact via de slab
Doorsnede van Si-golfgeleiders (strip en rib) · Bekijken in het figurenoverzicht

Vakgebied: Siliciumfotonica

Nu oefenen: vragen over Siliciumfotonica

Waarom wordt in siliciumfotonica een verbindingshalfgeleider gecombineerd met de laserlichtbron?

  1. AOmdat silicium helemaal geen licht doorlaat
  2. BOmdat verbindingshalfgeleiders altijd goedkoper zijn
  3. COmdat silicium een indirecte bandovergang heeft en niet efficiënt licht kan uitzenden
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Omdat silicium een indirecte bandovergang heeft en niet efficiënt licht kan uitzenden

In silicium kunnen optische golfgeleiders, modulatoren en op germanium gebaseerde fotodetectoren met hoge nauwkeurigheid en in grote aantallen in een CMOS-fabriek worden gemaakt, maar door de indirecte bandovergang vormt silicium geen efficiënte lichtbron. Daarom worden lasers op basis van InP en dergelijke op de siliciumwafer gebonden (heterogene integratie) of als afzonderlijke chip gecombineerd tot lichtbron. Als technologie voor optische verbindingen in datacenters voor AI ontwikkelt de integratie van optica en elektronica zich snel.

Wat is de belangrijkste functie van de begraven oxidelaag (BOX-laag) van de SOI-wafers die in siliciumfotonica worden gebruikt?

  1. AZe werkt als absorptielaag van een fotodetector onder de golfgeleider, die licht van telecomgolflengten absorbeert en in stroom omzet
  2. BZe werkt als lichtemitterende laag om licht op te wekken in de siliciumlaag aan het oppervlak
  3. CZe vormt de onderste mantel (cladding) van de golfgeleider en voorkomt dat licht naar het siliciumsubstraat weglekt
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Ze vormt de onderste mantel (cladding) van de golfgeleider en voorkomt dat licht naar het siliciumsubstraat weglekt

Een SOI-wafer (Silicon on Insulator) bestaat uit een siliciumsubstraat met daarop een begraven oxidelaag (BOX) en daarbovenop een dunne monokristallijne siliciumlaag. De bovenste siliciumlaag (vaak 220 nm dik) wordt bewerkt tot golfgeleiders, en de BOX met lage brekingsindex vormt de onderste mantel. Als de BOX te dun is, lekt het licht dat buiten de golfgeleider doordringt (evanescent licht) weg naar het siliciumsubstraat met hoge brekingsindex; daarom wordt vaak een dikke BOX van circa 2–3 µm gebruikt. Oxide heeft een grote bandgap en absorbeert of emitteert geen licht.

“Siliciumfotonica” in de toelichting

Vragen met “Siliciumfotonica” (7)

  1. Waarom wordt in siliciumfotonica een verbindingshalfgeleider gecombineerd met de laserlichtbron?
  2. Wat is de belangrijkste functie van de begraven oxidelaag (BOX-laag) van de SOI-wafers die in siliciumfotonica worden gebruikt?
  3. In siliciumfotonica worden siliciumgolfgeleiders soms gecombineerd met golfgeleiders van siliciumnitride (SiN). Wat is een juist kenmerk van SiN-golfgeleiders?
  4. Wat is de belangrijkste reden waarom siliciumfotonica geschikt wordt geacht voor massaproductie in halfgeleiderfabrieken?
  5. Wat is de juiste reden dat bij een halfgeleider met indirecte overgang zoals silicium de kans klein is dat elektron en gat recombineren onder uitzending van licht?
  6. Welk materiaal is geschikt voor een fotodiode die licht in de 1,55 µm-band van glasvezelcommunicatie ontvangt?
  7. Welke beschrijving van golflengtemultiplexing (WDM) is juist?

Verwante termen

InP (indiumfosfide) Bandgap (bandkloof) CMOS Brekingsindex Indirecte bandovergang (indirect bandgap) SOI-wafer Golfgeleider Droog etsen Ionenimplantatie Selectieve epitaxiale groei

Naar de woordenlijst